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電子顯微鏡的成像原理

2021-08-25(2403)次瀏覽

　　電子顯微鏡是以電子束為照明源，通過電子流對(duì)樣品的透射或反射及電磁透鏡的多級(jí)放大后在熒光屏上成像的大型儀器，電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。電子顯微鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微...

　　電子顯微鏡是以電子束為照明源，通過電子流對(duì)樣品的透射或反射及電磁透鏡的多級(jí)放大后在熒光屏上成像的大型儀器，電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。電子顯微鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡等。那么電子顯微鏡的成像原理是怎樣的呢？下面深視光谷小編來給大家介紹。

　　電子顯微鏡的成像原理：

　　1、吸收像：當(dāng)電子射到質(zhì)量、密度大的樣品時(shí)，主要的成相作用是散射作用。樣品上質(zhì)量厚度大的地方對(duì)電子的散射角大，通過的電子較少，像的亮度較暗。早期的透射電子顯微鏡都是基于這種原理。

電子顯微鏡

　　2、衍射像：電子束被樣品衍射后，樣品不同位置的衍射波振幅分布對(duì)應(yīng)于樣品中晶體各部分不同的衍射能力，當(dāng)出現(xiàn)晶體缺陷時(shí)，缺陷部分的衍射能力與完整區(qū)域不同，從而使衍射波的振幅分布不均勻，反映出晶體缺陷的分布。

　　3、相位像：當(dāng)樣品薄至100?以下時(shí)，電子可以穿過樣品，波的振幅變化可以忽略，成像來自于相位的變化。

　　以上內(nèi)容就是對(duì)電子顯微鏡的成像原理的介紹了，電子顯微鏡常用的有透射電鏡和掃描電子顯微鏡，與光學(xué)顯微鏡相比電子顯微鏡用電子束代替了可見光，用電磁透鏡代替了光學(xué)透鏡并使用熒光屏將肉眼不可見電子束成像。通常情況下，電子顯微鏡放大倍數(shù)比光學(xué)顯微鏡高得多。

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